典型案例
Array段AOI
应用场景
FPD前段制程。
项目难点
需检测的玻璃基板不仅尺寸大，且精度要求高，通常达到1-10μm。
365亚洲体育网入口官网方案：365亚洲体育网入口官网16K高阶线扫相机
可精确检测出FPD前段玻璃基板形貌不良的缺陷。
应用效果
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